기계 사양
전원: 1상 100V 50/60Hz
광원: PSM-11520
접안 렌즈:CFIUW10x/25
대물 렌즈: LUPlan5x/10x/20x/50x/100x
스테이지: 8×8 스테이지
스트로크：150×150mm
대응 웨이퍼:8인치
레볼버: 자동
【부속품】
・미분 간섭：DIC 슬라이더
・분석기(L2-RAN)
・폴라라이저(L2-PO)
프레스 가드/방진대 부착
첨부파일
※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.
