기계 사양
6인치 트레이(대응 기판 140mm 이내)/5장
공정실 W750 D500 H150m RIE 플라즈마 방식
캐소드 커플링 타입・전극 직치 타입
RF 전원 : 300W 3φ 200V 50/60HZ 사용 가스 : Ar, O2, SF6
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기계 사양
6인치 트레이(대응 기판 140mm 이내)/5장
공정실 W750 D500 H150m RIE 플라즈마 방식
캐소드 커플링 타입・전극 직치 타입
RF 전원 : 300W 3φ 200V 50/60HZ 사용 가스 : Ar, O2, SF6
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