에칭 장치
메이커 알백
모델 NE-701
연식 2007
외부 치수 W1300 D2400 H2000
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 NC1074
기계 사양
3상:200V 19.9kVA 50/60Hz
기판 크기:Φ6 인치
공정 가스:O2,Ar,Cl2,BCl3 각 100sccm
P-N2, 냉각용: He
전원: ANTRNNA:RF1000W,BIAS:RF300W
배치/매엽: 배치식
기판 유지 방법: ESC 척
【부속품】
・드라이 펌프 HR60
・로터리 펌프 D-650DK
・칠러 CA-1112
첨부파일
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