에칭 장치
메이커 알백
모델 NE-701
연식 2000
외부 치수 W1300 D2400 H2000
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 NC1075
기계 사양
3상:200V 19.9kVA 50/60Hz
기판 크기: 150mm
(프로세스 가스)
O2,Ar,Cl2,BCl3 각 100sccm
P-N2, 냉각용: He
(부속품)
・드라이 펌프 HR80
・로터리 펌프 D-650DK
・칠러 NCC-1410
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