애싱 장치
메이커 도쿄 응화 공업
모델 TCA-3811
연식 2008
외부 치수 W900 D1850 H2050
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 NC1077
기계 사양
3상:200V 50A/60Hz
기판 크기: 75mm
RF 전원 : 1000W 13.56MHz
<배기 세트>
・로터리 펌프 ALCATEL2063
・기계 부스터 펌프 ANELVA B301
· 다이어프램 ULVAC DA-20D
첨부파일
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