마스크 얼라이너(노광기)
메이커 유니온 광학
모델 PEM-800
연식 2001
외부 치수W W750 D850 H1670
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 NC1113
기계 사양
전원 전압: 100V, 11.5A, 50/60Hz
접안 렌즈: NWF10X
마스크 크기: 최대 5인치
웨이퍼 크기: 최대 4인치
사용 가스: N2
사용압력：0.4～0.5MPa
진공：21.3KPa(-80KPa)
진공 펌프(DA-60S) 부속
FFU 부착 부스 부속(W1100 D1000 H1900)
※간이 메뉴얼 있음
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