스퍼터 장치
메이커 아넬바
모델 SPC-540H
연식 1984
외부 치수 1500×1050×2210
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 NC1156
기계 사양
타겟 사이즈:약 110 mm×280 mm
스퍼터용 전원：RF 전원(200V3Φ40A5kW) 4/9 -(W570D750H1590)・5/9,6/9,7/9-(W570D730H1305)
제어반：2/9-(W575D910H2300)・3/9-W570D770H1815
크라이오 펌프：ALCATEL-2063-SD(W255D815H415)
크라이오 컴프레서：SUMITOMO-CKW21(W480D550H465)
첨부파일
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