LP-CVD 장치
메이커 광양 서모 시스템
모델 272A-M200
연식 2009
외부 치수W W12060 D3250 H1800
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 NC1157
기계 사양
3상:200V 36.25kVA 60Hz
작업 크기: Φ50mm, Φ76.2mm, Φ100mm
처리 매수:25장/배치
상단 : 어닐링 상양 온도 ~ 1100도
하단:Poly-Si 상온 온도 600~700도
※PLC 데이터 손실
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