건식 에칭 장치
메이커 알백
모델 NLD-5700
연식 2015
외부 치수W W1200 D2480 H2120
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 NC1160
기계 사양
3상:200V27.6KVA50/60Hz
기판 사이즈 4 인치 웨이퍼(오리후라)
액세서리
・칠러 HRZ004-L-X002
・드라이 펌프 HR60 2대
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