스퍼터 장치
메이커 아넬바
모델 SPC-540H
연식 1984
외부 치수 (本体)W1650 D1350 H2180
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 NC1184
기계 사양
전원: 200V 75A 60Hz
냉각수: 3kgf/㎠ 22L
공압：5㎏f/㎠
RF 전원：PRF-503 2대→1대는 전환기 부착(아넬바)
DC 전원: PDC087B(아넬바)
MP：CAP-121 (아넬바)
타겟 사이즈：□약 130 mm×380 mm
대상 수 : 4
사용 가스: Ar, O2
성막 방식: 스퍼터 SIDE
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