기계 사양
배기 속도(20℃) 질소 5000L/s 수소 10000L/s 아르곤 4200L/s 물 16000L/s
도달 압력 10-7Pa
최대 유량 아르곤 1400 Pa · L / s 수소 410 Pa · L / s
배기 용량 아르곤 4.3×10(8승) Pa・L/s 수소 2.4×10(6승) Pa・L/s
크라이오미터(MBS-C2)
레귤레이터(RM50)
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