기계 사양
진공조 치수: 800x800x1350mm
전자총에 의한 증발
기판 가열: Max300℃/상용 160℃
지그 회전수( 약):6/15/30rpm
크라이오 컴플렉스 가동 시간: 30835.8/32651.8/32653.1Hr
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기계 사양
진공조 치수: 800x800x1350mm
전자총에 의한 증발
기판 가열: Max300℃/상용 160℃
지그 회전수( 약):6/15/30rpm
크라이오 컴플렉스 가동 시간: 30835.8/32651.8/32653.1Hr
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