세정장치・순수장치 기판 세정 장치 메이커 시바우라 메카트로닉스 모델 HCIWーLVWAIHUーL 연식 외부 치수 전시장 엔잔 테크니컬 센터 가격 가격 문의 문의 번호 O50152 재고 확인 · 문의 기계 사양 처리 워크:유리 기판(300x400/300x360mm t=0.7/1.1mm) 택트 타임:60초/장 운반 속도: 600mm/min 첨부파일 ※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.