플라즈마 클리너
메이커 야마토 과학
모델 PDC210
연식
외부 치수 W800 D660 H1350
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 O51100
기계 사양
플라즈마 모드 RIE (DP 모드 옵션)
전극 구조 평행 평판(전극간 고정)
고주파 출력 MAX.500W
발진 주파수 13.56MHz 수정 발진
스테이지 치수 W250×D170mm
챔버 재질 알루미늄제
반응 가스: 아르곤
입력: AC200V3φ 50/60Hz
안치수 W400 D250 H150
진공 펌프: PASCAL2021SD
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