스퍼터 장치
메이커 아넬바
모델 SPF-530H
연식 1988年
외부 치수 （本体）W1500 D1100 H1750
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 O51138
기계 사양
전원: 200V 60A 50/60Hz
냉각수: 2kgf/㎠ 10L
공압：7㎏f/㎠
RF 전원: PRF-153B (아넬바)
DC 전원: PDC057B(아넬바)
MP：CAP-121 (아넬바)
타겟 사이즈：φ6 인치(150 mm)
타겟수：3, 배킹 플레이트 3장 부착(본체 설치)
사용 가스: Ar, O2
성막 방식: 스퍼터 UP
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