건식 에칭 장치
메이커 쇼와 진공
모델 SPE-2010
연식 2004
외부 치수 （本体）W1000 D1100 H1600
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 O51140
기계 사양
전원:φ3 200V 16.7KVA 60Hz
냉각수: 0.2Mpa 0.96㎥/h
공압: 0.5Mpa
RF 전원: 13.56MHz (Max500W)
MP：VG203VA / 오사카 진공(2.7x10 －3Pa 이하 )
기판 사이즈:φ3 인치(오리후라)
사용 가스: Ar, O2, CHF3
에칭 방식: 반응성 에칭
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