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건식 에칭 장치

메이커 쇼와 진공

모델 SPE-2010

연식 2004

외부 치수 (本体)W1000 D1100 H1600

전시장 규슈 테크니컬 센터

가격 가격 문의

문의 번호 O51140

기계 사양

전원:φ3 200V 16.7KVA 60Hz

냉각수: 0.2Mpa 0.96㎥/h

공압: 0.5Mpa

RF 전원: 13.56MHz (Max500W)

MP:VG203VA / 오사카 진공(2.7x10 -3Pa 이하 )

기판 사이즈:φ3 인치(오리후라)

사용 가스: Ar, O2, CHF3

에칭 방식: 반응성 에칭

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