스크럽 세척 장치
메이커 카나멕스
모델 KC-S150NV2
연식
외부 치수 W850D1350H1900
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 O51152
기계 사양
웨이퍼 사이즈：φ2/φ4
두께: 200~500μm
컵 구경: 350mm
AC 서보 모터: 400w
회전 속도：0～2000rpm
접속 지름：순수 16A, N2・에어 3/8, 드레인 25A, 배기 100A
전원: 3상 220V 60Hz 20A
첨부파일
※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.
