오토 스핀 코터
메이커 에이블 (미크로 기술 연구소)
모델 NSC-220H
연식
외부 치수 WW1400D1400H1700
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 O51224
기계 사양
대응 워크：3 인치
【구성】
・HMDS 도포 유닛 2기
・핫 플레이트 1기
・쿨링 플레이트 1기
컵 직경:φ220mm
시료대:φ30mm
회전 가능 범위：30～5000rpm
약액 노즐: 스윙 노즐
약액 계통：5 계통(레지스트 x2 린스 x1HMDSx2)
핫 플레이트: 150x150xt20
전원: 3상 200V 30KVA
배기설비 별도 필요(5계통)
약액 내각 크기: W1750D300H1000
캐스터 무거운
첨부파일
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