램프 어닐링 장비
메이커 광양 서모 (제이텍트 서모)
모델 RLA-1208-N
연식
외부 치수 W1600D1500H2100
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 O51225
기계 사양
웨이퍼 사이즈：φ100～200mm
상용 온도: 400~1200℃
처리 매수:매엽
웨이퍼 이송: 수동
승온 속도: 최대 200°C/sec
전원：3상 200V/1상 100V 60Hz 67.2Kw
사용가스：N2/O2/N2O/3%H2/N2
※사양서 없음
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