기계 사양
기판 사이즈：300x300mm(370x470으로 변경 가능)
챔버 구성:로드 록실(13단)/반응실/히트실(13단)/반송실/기판 카세트 스테이션
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기계 사양
기판 사이즈：300x300mm(370x470으로 변경 가능)
챔버 구성:로드 록실(13단)/반응실/히트실(13단)/반송실/기판 카세트 스테이션
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