기계 사양
배기 속도: 83/340L/min
도달 진공도:0.1Pa(가스 장미 폐쇄)/1.5Pa(가스 장미 개방)
흡배기 직경: NW25
전원: 삼상 AC200V 50/60Hz
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기계 사양
배기 속도: 83/340L/min
도달 진공도:0.1Pa(가스 장미 폐쇄)/1.5Pa(가스 장미 개방)
흡배기 직경: NW25
전원: 삼상 AC200V 50/60Hz
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