기계 사양
3원 동시 성막 가능(업 스퍼터)
타겟 사이즈 50.8mm
스퍼터용 전원(RF 전원, DC 전원)
사용 가능한 기판 크기: 최대 φ100mm
기판 가열: 최고 800℃
오일 회전 진공 펌프×2대
전원 : 삼상 AC200V
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기계 사양
3원 동시 성막 가능(업 스퍼터)
타겟 사이즈 50.8mm
스퍼터용 전원(RF 전원, DC 전원)
사용 가능한 기판 크기: 최대 φ100mm
기판 가열: 최고 800℃
오일 회전 진공 펌프×2대
전원 : 삼상 AC200V
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