노광 장치 (마스크 얼라이너)
메이커 캐논
모델 MPA-500FAb
연식
외부 치수 W1500 D1600 H2000
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 O60633
기계 사양
포토 마스크:100mm(4")125mm(5")150mm(6")
웨이퍼 크기:3" 4" 5"
얼라인먼트 스코프
대물 10X 접안 10X 15X 변배 1X 2X 3X 저배 0.3X
실 시야 30mm~100mm
3φ 200V 50/60Hz 5600VA
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