스퍼터 장치

메이커 알백

모델 SIH-450

연식

외부 치수 W1700 D1750 H1850

전시장 규슈 테크니컬 센터

가격 가격 문의

문의 번호 O60687

기계 사양

기판 홀더：φ450 2 인치 각 기판 X8매

가열 기구：Max250℃(할로겐 램프)

스퍼터실: W680 D740 H360

배출구: W920 D740 H260

기판 가열: 3Kw

RF 전원：1Kw＋3Kw

3φ200V 50Hz

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