이온 밀링 장비
메이커 알백
모델 IML-580
연식
외부 치수 W2200 D2000 H1900
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 O60688
기계 사양
이온빔 밀도: 최대 1.0mA/cm2
이온빔 에너지: 300eV-1.000eV
패킷형 전극 유효 직경: 약 φ580
자료: 몰리브덴
【필라멘트】
이온원용：텅스텐(W)
뉴트라라이저용：탄탈(Ta)
가속 전압 전류: 1KVmax 2.68A
이온종：아르곤(Ar)
전극 유효 직경: 약 φ580
기판 홀더：φ100X8장(자공전 홀더)
3φ200V ±10% 50/60Hz
첨부파일
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