기계 사양
스핀 처리 모듈 외부 치수 : W1045 D930 H2200
세정 장치 제어반 외부 치수: W570 D805 H2140
공급 유닛 외부 치수: W1195 D540 H1630
소화기 유닛 1 외부 치수 : W400 D300 H1180
소화기 유닛 2 외부 치수 : W320 D215 H980
BOX 밖 치수:W650 D500 H400
웨이퍼 사이즈:φ300mm 두께:30~50μm
모터 회전수:20~1200rpm
전원 : 3φ AC200V 75A 50Hz
첨부파일
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