유전체 스퍼터 장치
메이커 알백
모델 MPS-2000C1(BC4735)
연식 1999
외부 치수 W2811 D1430 H2155
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 O80060
기계 사양
음극 : φ120mm 타겟 대응
기판 크기:φ4 인치
기판 가열: Max700℃
부속 로터리 펌프:VD301/D-330DK
TMP:TMP550-L
전원: 삼상 AC200V 50/60Hz
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