기계 사양
다이어프램 밸브 포함 : Fujikin316L
INRETMax:600PSI
게이지 눈금:-0.1~0.3MPa
사용 가스 이력 (표시에서) : SF6 / CF4 / CHF3
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기계 사양
다이어프램 밸브 포함 : Fujikin316L
INRETMax:600PSI
게이지 눈금:-0.1~0.3MPa
사용 가스 이력 (표시에서) : SF6 / CF4 / CHF3
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