기계 사양
장비 구성 : 에칭 챔버 / LD / ULD 챔버 / 제어 랙 / 전원 랙 / 로터리 펌프 / 드라이 펌프 / 냉각기 / 제해탑 / 모니터 / 스텝 스탠드
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장비 구성 : 에칭 챔버 / LD / ULD 챔버 / 제어 랙 / 전원 랙 / 로터리 펌프 / 드라이 펌프 / 냉각기 / 제해탑 / 모니터 / 스텝 스탠드
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