스퍼터 장치
메이커 아넬바
모델 E-400S
연식 2007
외부 치수 W1450 D1700 H2200
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 OA0021
기계 사양
최대 성막 영역:φ200mm
기판 가열: Max300℃
타겟 : φ4 형 평면 마그네트론 캐소드 4 기
부속 로터리 펌프(adixen 2033SD)
부속 냉각기:SMC(HRS024-A-20-BT)
전원: 삼상 AC200V 50/60Hz 100A
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