ko_スパッタ装置
메이커 ko_アネルバ
모델 E-400S
연식 2007
외부 치수 W1450 D1700 H2200
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 OA0021
機械仕様最大成膜エリア:φ200mm
基板加熱:Max300℃
ターゲット:φ4型プレーナーマグネトロンカソード4基
付属ロータリーポンプ(adixen 2033SD）
付属チラー:SMC(HRS024-A-20-BT)
電源:三相AC200V 50/60Hz 100A
添付ファイル
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