기계 사양
스퍼터링 방식 : 사이드 디포
샘플 크기 : φ3 인치 / φ4 인치 / W54 D5 H6mm 지그
캐소드 : 5x18 인치 평면 마그네트론 캐소드
목표 치수:126.8x457x5mm
구성: 본체/제어부/크라이오 펌프/크라이오 컴프레서/메카브/로터리 펌프
전원 : 삼상 AC200V 50Hz 24.8KVA
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기계 사양
스퍼터링 방식 : 사이드 디포
샘플 크기 : φ3 인치 / φ4 인치 / W54 D5 H6mm 지그
캐소드 : 5x18 인치 평면 마그네트론 캐소드
목표 치수:126.8x457x5mm
구성: 본체/제어부/크라이오 펌프/크라이오 컴프레서/메카브/로터리 펌프
전원 : 삼상 AC200V 50Hz 24.8KVA
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