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이온 스퍼터 장치

메이커 히타치

모델 E101

연식

외부 치수

전시장 엔잔 테크니컬 센터

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문의 번호 OB0228

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기계 사양

부속품:로터리 진공 펌프(G-50DA)

시료대:φ80mm

전원:100V 50/60Hz 10A

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