기계 사양
배기 속도 1090L/min(65m3/h)
도달압력 1×10-4mba 이하
배기 속도 153?/Hr 최대 압력 130mba
W750 D500 H330
기계식 부스터 펌프 (라이볼트 WSU151)
W640 D310 H820
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기계 사양
배기 속도 1090L/min(65m3/h)
도달압력 1×10-4mba 이하
배기 속도 153?/Hr 최대 압력 130mba
W750 D500 H330
기계식 부스터 펌프 (라이볼트 WSU151)
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