스퍼터 장치 - 아넬바 L-430S-FHL
제품 사양
메이커 아넬바
모델 L-430S-FHL
카테고리 반도체(전공정)
연식 1999
외부 치수 W2630D950H1850
상태 중고
전시장 정보
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 H80246
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 아넬바 L-430S-FHL입니다. 외형 치수는 W2630D950H1850입니다. 엔잔 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(아넬바) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
타겟 사이즈:φ4 인치, 타겟수:3
기판 크기: 150mm,
스퍼터용 전원:RF/DC 전원,
기판 가열 성능: 최고 온도 300℃
장비 크기: W2630D950H1850
삼상 200V 100A 50/60Hz
수량 본체 0.25MPa6.0?/min
타겟 0.25MPa3.0?/min 공압 0.5~0.8MPa
질량 1.2t 외치수 W2440 D1100 H1600 ・
컨트롤러 박스 외부 치수 W590 D1010 H1850 전원 박스 ② 외부 치수 W560 D700 H1780
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