건식 에칭 장치 - 아넬바 L-201D-L
제품 사양
메이커 아넬바
모델 L-201D-L
카테고리 반도체(전공정)
연식 1998
외부 치수 20002000x1900
상태 중고
전시장 정보
전시장 쓰루 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 I20137
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 아넬바 L-201D-L입니다. 외형 치수는 20002000x1900입니다. 쓰루 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(아넬바) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
2 챔버 구조(에칭실+로드록실)
처리 매수 Φ3”기판 1장/배치 매엽 반송
에칭 속도 300A/min 이상 재료 SiO2
첨부파일
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