건식 에칭 장치 - 쇼와 진공 SPE-2010
제품 사양
메이커 쇼와 진공
모델 SPE-2010
카테고리 반도체(전공정)
연식 2001
외부 치수 W1000D1100H1600
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 I70641
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 쇼와 진공 SPE-2010입니다. 외형 치수는 W1000D1100H1600입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(쇼와 진공) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
1/4 에칭 장치(SPE-2010): 전원 3상 200V 50/60Hz 12KVA 압공 0.5MPa 20l/min N2 가스 0.3MPa/min 3인치 대응 도달 압력 2.7×10?3Pa 배기 시간 3.0×10?2Pa까지 분 이내 에칭 깊이 60nm
외부 치수 W1000D1100H1600 중량 1000Kg
2/4 냉각기 : NESLAB M75 3/4 로터리 펌프 : ALCATEL2012A / 2033 C2 2 대 4/4RF 전원 (T857-2) MAX500W 13.56MHz
첨부파일
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