CVD 장치 실리콘 산화막 - 삼코 PD-200STP
제품 사양
메이커 삼코
모델 PD-200STP
카테고리 반도체(전공정)
연식 2010
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 J70540
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 삼코 PD-200STP입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(삼코) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
TEOS CVD
전원 : 3 상 200V 50A
전원: 단상 200V 40A
주파수 50Hz ※동작 확인 60Hz에서 실시
본체 W1370 D1800 H2000 1000Kg
기계식 부스터 펌프 W430 D704 H880 150Kg
로터리 펌프 D170 W519 H253 30Kg
오일 필트레이션 W250 D250 H460 20Kg
제해 캐비닛 W600 D600 H1500 50Kg
TEOS용 소스 탱크 2L
적용 기판 사이즈 최대 Φ6 인치 웨이퍼 1장 처리
첨부파일
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