건식 에칭 장치(고밀도) - 알백 NE-730
제품 사양
메이커 알백
모델 NE-730
카테고리 반도체(전공정)
연식 2002
외부 치수 (本体)1700 x1300 xH1600
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 K30154
기계 사양
기판 사이즈：Φ8 인치
【가스】
O2,Ar:: 각 100SCCM
CHF3,C4F8,CF4: 각 50SCCM
【전원】：ANTRNNA:RF500W,BIAS:RF200W
【배치/매엽】：로드 록식
【기판 유지 방법】：메카 척
【부속품】
・배기 가스 처리 장치
・드라이 펌프 PDR-060Cx2점
・칠러 RISSHI CS-400SW
첨부파일
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 취급하는 중고 반도체(전공정) 제품, 알백 NE-730입니다. 외형 치수는 (本体)1700 x1300 xH1600입니다. 현재 판매 완료된 상품으로, 동일 모델 재입고·유사 재고 문의 및 견적 상담이 가능합니다. 동일 제조사(알백) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
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