금속 건조 에칭 - 파나소닉 E620I
제품 사양
메이커 파나소닉
모델 E620I
카테고리 반도체(전공정)
연식 2013
외부 치수 1000x2500x2000
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 L40383
기계 사양
삼상 200V 75A 단상 100V 75A
무게 1550KG 4 인치 사양
EBARA 드라이 펌프 포함 SR20 s/nDFB03284
【사용 가스】
BCL3 200sccm CL2 200sccm
CF4 100sccm N2 100sccm
Ar 200sccm CHF3 100sccm
첨부파일
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 취급하는 중고 반도체(전공정) 제품, 파나소닉 E620I입니다. 외형 치수는 1000x2500x2000입니다. 현재 판매 완료된 상품으로, 동일 모델 재입고·유사 재고 문의 및 견적 상담이 가능합니다. 동일 제조사(파나소닉) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
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