스퍼터링 장치 - 시마즈 제작소 HSR-521A
제품 사양
메이커 시마즈 제작소
모델 HSR-521A
카테고리 반도체(전공정)
연식 1991
외부 치수 1200x900x1700
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 L40596
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 시마즈 제작소 HSR-521A입니다. 외형 치수는 1200x900x1700입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(시마즈 제작소) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
스퍼터업 방식 고주파 마그네트론 방전
타겟 거리 40~40mm 홀더 3개
기판 설치 매수 4장 최고 가열 온도 300℃
챔버 치수 φ450x220H
기판 홀더 치수 φ350
고주파 출력 1KW 13.56MHz 2 출력
삼상 200V 30A
첨부파일
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