스퍼터 장치 - 캐논 아넬바 E-401S
제품 사양
메이커 캐논 아넬바
모델 E-401S
카테고리 반도체(전공정)
연식 2008年10月
외부 치수 1500x2200x2050
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 L70635
기계 사양
4인치 x5매 트레이 사양 카세트 5단
스퍼터 다운 방식
자동 성막 최대 φ220mm
정지 대향 성막 최대 φ100mm
φ4형 마그넷 캐소드 4기 탑재
RF2원 동시 스퍼터링 가능
기판-전극간 거리 변경 가능(모터 구동)
기판 가열 최고 온도 300°
3φ200V±10% 100A 50/60Hz
첨부파일
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 취급하는 중고 반도체(전공정) 제품, 캐논 아넬바 E-401S입니다. 외형 치수는 1500x2200x2050입니다. 현재 판매 완료된 상품으로, 동일 모델 재입고·유사 재고 문의 및 견적 상담이 가능합니다. 동일 제조사(캐논 아넬바) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
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