스퍼터 장치 - 시바우라 메카트로닉스 CFS-8EP-55
제품 사양
메이커 시바우라 메카트로닉스
모델 CFS-8EP-55
카테고리 반도체(전공정)
연식 2001
외부 치수 1300x1100x1500
상태 중고
전시장 정보
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 L70733
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 시바우라 메카트로닉스 CFS-8EP-55입니다. 외형 치수는 1300x1100x1500입니다. 엔잔 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(시바우라 메카트로닉스) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
다운 스퍼터링 방식 3종 가능
2 인치 세라믹 기판 (φ300 유효 면적 있음)
막 두께 분포 중심에서 R150mm 내
마그네트론 스퍼터 다운
DC의 코스퍼터 및 적층 성막 가능
램프 가열 방식 최대 350℃ 상용 온도 300℃
진공조내 치수 φ550x380H SUS304
성막 재료 Pt Au Ti
3φ200V 50Hz 25KVA
사양서 있음
첨부파일
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