건식 에칭 장치(고밀도) - 파나소닉 E628I
제품 사양
메이커 파나소닉
모델 E628I
카테고리 반도체(전공정)
연식 2007
외부 치수 1000x2400x1900
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 L70770
기계 사양
매엽식 2 카세트 연속 처리 6 인치 사양
챔버 외부 치수 360x360x148(mm)
플라즈마 방식 멀티 스파이럴 코일 ICP
RF 전원 13.56MHz 1250W
상부 전극 석영 천판(φ348)
상부 전극 가열 50~100℃
전극간 거리 122mm 3φ200V 75A
【사용 가스】C4F8 100sccm
CF4 200sccm SF6 100sccm
Ar 400sccm O2 200sccm
N2 20sccm He 50sccm
첨부파일
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 취급하는 중고 반도체(전공정) 제품, 파나소닉 E628I입니다. 외형 치수는 1000x2400x1900입니다. 현재 판매 완료된 상품으로, 동일 모델 재입고·유사 재고 문의 및 견적 상담이 가능합니다. 동일 제조사(파나소닉) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
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