건식 에칭 장치(고밀도) NG - 파나소닉 E626I MK-6
제품 사양
메이커 파나소닉
모델 E626I MK-6
카테고리 반도체(전공정)
연식 2005
외부 치수 1000x2400x1900
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 L70772
기계 사양
매엽식 2 카세트 연속 처리 6 인치 사양
챔버 외부 치수 360x360x148(mm)
플라즈마 방식 멀티 스파이럴 코일 ICP RF 전원 13.56MHz 1250W
상부 전극 석영 천판(φ348)
상부 전극 가열 50~100℃
전극간 거리 122mm 3φ200V 75A
【사용 가스】
SF6 300sccm O2 200sccm
He 2000sccm C4F6 300sccm
N2 20sccm He 50sccm
첨부파일
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 취급하는 중고 반도체(전공정) 제품, 파나소닉 E626I MK-6입니다. 외형 치수는 1000x2400x1900입니다. 현재 판매 완료된 상품으로, 동일 모델 재입고·유사 재고 문의 및 견적 상담이 가능합니다. 동일 제조사(파나소닉) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
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