CVD 장치 - 삼코 PD-200STN
제품 사양
메이커 삼코
모델 PD-200STN
카테고리 반도체(전공정)
연식 2003年
외부 치수 1370x1800x2000
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 L70773
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 삼코 PD-200STN입니다. 외형 치수는 1370x1800x2000입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(삼코) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
적용 기판：최대φ6x1장 처리
전극 구조: 무차폐형 평행 평판 전극
가열 기구:저항 가열 방식
상부 Max.400℃ 상용 300℃ 이하
하부 Max.400℃ 상용 350℃ 이하
고주파 전원: 13.56MHz Max.500W
액체 소스 탱크 온도 제어 범위: 60~85℃
배관 가열 온도 제어 범위: 35~80℃
TEOS 탱크 용량 2L 3φ AC200V
사용 가스【CF4O2 N2】
첨부파일
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