건식 에칭 장치 - 알백 RH-3030P
제품 사양
메이커 알백
모델 RH-3030P
카테고리 반도체(전공정)
연식 1992
외부 치수 1700x1550x2000
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 L70775
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 알백 RH-3030P입니다. 외형 치수는 1700x1550x2000입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(알백) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
재질 세라믹
기판 전극 크기
에칭 전극 500Lx500W(mm)
대향 전극 500Lx500W
에디션 조건 평행 평판형 방식(페이스 업)
기판간 거리 30~80mm
전원 3KW(1356MHz)
가열기구 RF 전극 5~45℃
3φ 200V 50Hz
첨부파일
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