스퍼터 장치 - 캐논 아넬바 E-402S
제품 사양
메이커 캐논 아넬바
모델 E-402S
카테고리 반도체(전공정)
연식 2008
외부 치수 2150x2250x2200
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 L70777
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 캐논 아넬바 E-402S입니다. 외형 치수는 2150x2250x2200입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(캐논 아넬바) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
작업: Φ8in, Φ6in 웨이퍼
장치 구성：LL실→Traverser실→좌우에 SP1실, SP2실
스퍼터실：W580xL980xH305mm(외치수)
스퍼터업 방식
캐소드 φ317mm 비자성 재료용 RMC SP실에 각 1기
타겟 치수 약 φ310x5t
홀더 모양
φ370mm 열전도용 가스 기구 부착 가열 홀더, 역 스퍼터 가능
상하 스트로크 약 200mm
전극간 거리 약 50mm~250mm
스퍼터 전원
DC 전원 3.0Kw RF 전원 5.0Kw 600W
3φ200V 50/60Hz 150A
첨부파일
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