에칭 장치 - 삼코 RIE-400iPB
제품 사양
메이커 삼코
모델 RIE-400iPB
카테고리 반도체(전공정)
연식 2009
외부 치수 W986 D1792 H1975
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 N11279
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 삼코 RIE-400iPB입니다. 외형 치수는 W986 D1792 H1975입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(삼코) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
반응실 내경 φ320 φ37mm 뷰포트 부착(오른쪽에 1개) 고무 히터 부착
LL실 밖 치수 W 340mm D445 H144mm
ICP 유닛 2턴 코일 하부 전극 φ106mm(최대φ4인치 대응)
ICP 13.56MHz Max1KW BIAS 13.56MHz Max 300W
3φ200V 60Hz 60A 사용가스 CHF3 O2 Ar C4F8 SF6
첨부파일
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