에칭 장치 - 삼코 RIE-400iPB
제품 사양
메이커 삼코
모델 RIE-400iPB
카테고리 반도체(전공정)
연식 2009
외부 치수 W986 D1792 H1975
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 N11279
기계 사양
반응실 내경 φ320 φ37mm 뷰포트 부착(오른쪽에 1개) 고무 히터 부착
LL실 밖 치수 W 340mm D445 H144mm
ICP 유닛 2턴 코일 하부 전극 φ106mm(최대φ4인치 대응)
ICP 13.56MHz Max1KW BIAS 13.56MHz Max 300W
3φ200V 60Hz 60A 사용가스 CHF3 O2 Ar C4F8 SF6
첨부파일
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 취급하는 중고 반도체(전공정) 제품, 삼코 RIE-400iPB입니다. 외형 치수는 W986 D1792 H1975입니다. 현재 판매 완료된 상품으로, 동일 모델 재입고·유사 재고 문의 및 견적 상담이 가능합니다. 동일 제조사(삼코) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
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