스퍼터 장치 - 시바우라 메카트로닉스 CFS-4EP-LL
제품 사양
메이커 시바우라 메카트로닉스
모델 CFS-4EP-LL
카테고리 반도체(전공정)
연식 2001
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 N30392
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 보유 중인 중고 반도체(전공정) 제품, 시바우라 메카트로닉스 CFS-4EP-LL입니다. 규슈 테크니컬 센터 전시장에 재고를 보유하고 있어 즉시 재고 확인과 견적 문의가 가능합니다. 동일 제조사(시바우라 메카트로닉스) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
기계 사양
처리량:φ200mm 이내(유효φ170mm)
타겟수：4in 캐소드×3기
T1(DC 전원 단독), T2(DC 전원 단독), T3(RF 전원 단독)
역 스퍼터 기구 있음
지그 가열: MAX300℃
입력 전원: 3φAC200V 8kVA
첨부파일
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