권취 스퍼터 장치 - 록기연 RVS-W-510-A
제품 사양
메이커 록기연
모델 RVS-W-510-A
카테고리 반도체(전공정)
연식 2011
외부 치수 W4750 D5900 H2700
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 N80462
기계 사양
권취부:폭 510mm, 두께:50μm~175μm
마그네트론 캐소드 3기(128mmx725mm각형)
스퍼터 전원 : 20Kw 2 식, 10Kw 1 식
성막 속도:200nm·m/min
가열 온도 : 200 ℃ 자석 : 400G
고주파 전원 : 0.75Kw
표적 분할 상자: 550mmx180mm
전처리실:550mmx72mm 타겟 기재 100mm
진공조내 치수:W1050xD1250xH1700
사용 가능한 코어 테이퍼 콘 3 인치 · 6 인치
3φ200V 50Hz 130Kw
사용 가스:Ar N2
첨부파일
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 취급하는 중고 반도체(전공정) 제품, 록기연 RVS-W-510-A입니다. 외형 치수는 W4750 D5900 H2700입니다. 현재 판매 완료된 상품으로, 동일 모델 재입고·유사 재고 문의 및 견적 상담이 가능합니다. 동일 제조사(록기연) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
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